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标准气在集成电路、半导体中有什么用途呢?下面就由郑州瑞安气体科技有限公司带大家了解一下吧。
在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气,化学气相淀积时的载气,液体扩散源的携带气,在高温扩散炉中用作器件的保护气。
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很多人都知道标准气在不同的领域中扮演着非常重要的作用,但是对于氮气纯化的方法了解的不多,下面就由小编来给大家简单的介绍一下其中一种吧:
加氢除氧、除氢法
此法分三级,一级加氢除氧,二级除氢,三级除水,获得下列组成的高纯氮:n2***99.999%,o2≤5×10-6,h2≤5×10-6,h2o≤10.7×10-6。
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在很多的领域中,标准气都有着非常重要的作用,比如说在集成电路制作中,它起到了保护气的作用,那么还有哪些地方可以使用到它呢?
标准气在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中,作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。在航天技术中,液氢加注系统须先用高纯氮置换,再用高纯---置换。
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