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现在有很多的行业中都需要使用到高纯氮气,那么大家知道它在哪些领域中可以发挥作用吗?下面我们就一起来简单的了解一下吧:
在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气,化学气相淀积时的载气,液体扩散源的携带气,在高温扩散炉中用作器件的保护气。
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在很多的领域中,高纯氮气都有着非常重要的作用,比如说在集成电路制作中,它起到了保护气的作用,那么还有哪些地方可以使用到它呢?
高纯氮气在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中,作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。在航天技术中,液氢加注系统须先用高纯氮置换,再用高纯---置换。
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在电子行业中,高纯氮气的运用是十分广泛,具体是怎样的呢,下面就让郑州瑞安气体科技有限公司来带大家具体的了解一下吧。
高纯氮气在电子行业中的运用电子气体是发展集成电路、光电子、微电子,---是---规模集成电路、液晶显示器件、半导体发光器件和半导体材料制造过程中不可缺少的基础性支撑源材料。由于电子行业在生产过程中,也会对环境造成一定影响与破坏,电子行业中高纯氮气纯度必须保持在99.999%之上,才符合电子行业的生产标准。
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